Скачать

Методы термического испарения

РЕФЕРАТ

по дисциплине: "ФХОТЭС"

на тему: "Методы термического испарения"


Оглавление

Метод термовакуумного напыления

Резистивное термическое испарение в вакууме

Обеспечение равномерности толщины пленки

Метод лазерного испарения

Достоинства и недостатки термического испарения

Многослойные системы


Метод термовакуумного напыления

Метод получения тонких пленок термическим вакуумным напылением является универсальным и наиболее освоенным методом. Рассмотрим схему процесса термического напыления (рис.1).

Рис 1 Схема процесса термического напыления

Схема термического напыления. Рабочая камера вакуумной установки представляет собой цилиндрический металлический или стеклянный колпак 1, который устанавливается на опорной плите 7. Между колпаком и плитой находится резиновая прокладка, обеспечивающая вакуумплотное соединение. Внутри рабочей камеры расположены: подложка 4, которая закрепляется на держателе 3, нагреватель подложки 2 испаритель 6 для нагрева напыляемых веществ. Между испарителем и подложкой устанавливается заслонка 5, позволяющая в нужный момент прекращать попадание испаряемого вещества на подложку. Рабочая камера откачивается вакуумным насосом. Остаточное давление под колпаком измеряется специальным прибором - вакуумметром. Давление измеряется в мм рт. ст.

Процесс термического напыления в вакууме разбивается на три этапа

1. Испарение вещества.

2 Распространение паров испаряемого вещества.

3. Конденсация паров испаряемого вещества на подложке и образование пленочной структуры.

Испарение вещества. Испарение вещества происходит при его нагревании. При нагревании вещества кинетическая энергия его атомов и молекул возрастает и становится достаточной для того, чтобы они оторвались от поверхности и распространились в окружающем пространстве. С повышением температуры энергия увеличивается и количество молекул, отрывающихся от поверхности, возрастает.

Твердые вещества обычно при нагревании расплавляются, а затем переходят в газообразное состояние. Некоторые вещества переходят в газообразное состояние, минуя жидкую фазу. Такой процесс называется сублимацией.

Температуру, при которой давление паров вещества над его поверхностью составляет 10-2 мм рт. ст., называют температурой испарения вещества.

Скорость испарения вещества определяется количеством вещества, испаряемого с единицы площади в I сек, и выражается формулой

 (1)

где Vисп - скорость испарения, г/ (см2сек); рs - давление насыщенного пара (10-2 мм рт. ст.); М - молекулярный вес испаряемого вещества, г/моль; Т - температура испарения вещества, К.

В табл.1 приведены значения температуры плавления, кипения и испарения, а также давления паров и скорости испарения некоторых материалов.

Формула (1) для определения скорости испарения справедлива для так называемого молекулярного режима


Таблица 1

Материалобозначения

Температура плавления, 0С

Температура кипения, 0С

Давление паров при температуре плавления,

мм рт. ст.

Температура испарения при давлении паров 10-2 мм рт. ст.

Скорость испарения 10-4, г/ (см2*сек)

Алюминий

Медь

Никель

Олово

Серебро

Хром

А1

Сu

Ni

Sn

Ag

Cr

660

1083

1455

232

961

1900

2060

2590

2730

2400

2210

2200

1,2 10-6

3 10-4

4,4 10-3

0

1,7 10-3

6,4 10-4

996

1273

1510

1189

1047

1205

0,85

1,18

1,06

1,56

1,67

1,1